A fotolitográfia egy folyamat, amelyet mikrogyártásban használnak geometriai minták filmre vagy hordozóra történő átvitelére. A félvezető geometriai alakzatai és mintái alkotják azokat az összetett struktúrákat, amelyek lehetővé teszik az adalékanyagok, az elektromos tulajdonságok és a vezetékek számára, hogy egy áramkört teljessé tegyenek, és teljesítsenek egy technológiai célt.
Mi a fotolitográfiai eljárás?
A fotolitográfia, amelyet optikai litográfiának vagy UV-litográfiának is neveznek, olyan eljárás, amelyet a mikrogyártásban használnak, hogy vékony filmre vagy a szubsztrátum nagy részére mintázzák az alkatrészeket (ostyának is nevezik). … Összetett integrált áramkörökben egy CMOS lapka akár 50-szer is áteshet a fotolitográfiai cikluson.
Mi a mikrogyártási folyamat?
A mikrogyártás a mikrométeres és kisebb miniatűr szerkezetek előállításának folyamata. … A mikrogyártás főbb fogalmai és elvei a mikrolitográfia, adalékolás, vékony filmek, maratás, ragasztás és polírozás.
Mi az a litográfiai eljárás a félvezetőkben?
A félvezető litográfiai rendszer eljárást végez, amelynek során a nagy üveglapból készült fotomaszkra rajzolt rendkívül összetett áramköri mintákat ultranagy teljesítményű lencsék segítségével csökkentik, és egy szilíciumhordozóra teszik, amelyetnéven ismerünk.egy ostya. …
Mi a litográfia a gyártási folyamatban?
A litográfia azaz a folyamat, amelynek során geometriai formák mintáit egy maszkban egy vékony, sugárzásra érzékeny anyagrétegre helyezik át (úgynevezett reziszt), amely egy félvezető lapka felületét borítja. Az 5.1. ábra sematikusan szemlélteti az IC-gyártásban alkalmazott litográfiai eljárást.
