A fotolitográfiát gyakran használják számítógépes chipek előállítására. Számítógépes chipek gyártása során a szubsztrátum anyaga szilícium védőréteggel bevont lapka. Ez a folyamat lehetővé teszi chipek százainak egyidejű építését egyetlen szilícium lapkára.
Hogyan történik a fotolitográfia?
A fotolitográfia három alapvető folyamatlépést használ a minták maszkról ostyára történő átvitelére: bevonat, előhívás, exponálás. A minta egy következő folyamat során kerül át az ostya felületi rétegébe. Egyes esetekben a reziszt minta használható a felvitt vékony film mintájának meghatározására is.
Miért hívják fotolitográfiának?
Félvezető litográfia (fotolitográfia) - Az alapfolyamat . Az integrált áramkör (IC) előállítása számos fizikai és kémiai folyamatot igényel félvezető (például szilícium) hordozón. … A litográfia szó a görög lithos szóból ered, ami köveket jelent, és a graphia szóból, azaz írni.
Miért fontos a litográfia?
A litográfia az a folyamat, amelynek során geometriai alakzatok mintáit egy maszkban egy vékony, sugárzásra érzékeny anyagrétegre(úgynevezett rezisztnek nevezik), amely egy félvezető lapka felületét borítja. Az 5.1. ábra sematikusan szemlélteti az IC-gyártásban alkalmazott litográfiai eljárást.
Melyik a legszélesebb körben használt módszer a litográfiai eljárásokban?
OptikaiA litográfia egy foton alapú technika, amely egy kép kivetítéséből áll egy hordozóra, például szilícium lapkára bevont fényérzékeny emulzióba (fotoreziszt). Ez a legszélesebb körben használt litográfiai eljárás a félvezetőipar nanoelektronika nagy volumenű gyártásában.
