A félvezető litográfia (más néven fotolitográfia) esetében a köveink szilícium ostyák, mintáink pedig fényérzékeny polimerrel, úgynevezett fotoreziszttel készültek.
Mit értesz fotolitográfia alatt?
A fotolitográfia, más néven optikai litográfia vagy UV-litográfia, a mikrogyártás során használt eljárás részek vékony filmre vagy hordozó nagy részének mintázására (ostyának is nevezik).. … Ezzel a módszerrel rendkívül kicsi minták hozhatók létre, akár néhány tíz nanométeres méretig.
Miért használják a litográfiát a félvezetőgyártásban?
A fotolitográfia a mikrogyártásban használt folyamat, geometriai minták filmre vagy hordozóra történő átvitelére. A félvezető geometriai alakzatai és mintái alkotják azokat az összetett struktúrákat, amelyek lehetővé teszik az adalékanyagok, az elektromos tulajdonságok és a vezetékek számára, hogy egy áramkört teljessé tegyenek, és teljesítsenek egy technológiai célt.
Mi a fotolitográfia célja?
A fotolitográfia az egyik legfontosabb és legegyszerűbb mikrogyártási módszer, és részletes minták létrehozására használják az anyagokban. Ezzel a módszerrel egy formát vagy mintát lehet maratni egy fényérzékeny polimer ultraibolya fénynek való szelektív expozíciójával.
Mi az a félvezető litográfiai berendezés?
A félvezető litográfiai berendezést használják a félvezető chip expozíciós fázisábangyártási folyamat. … A félvezető litográfiai berendezés vetítőlencsét használ az áramköri mintázat csökkentésére, amelyet egy eredeti, irányzéknak nevezett lemezre írnak, és a mintát egy ostyára teszik.
