A belső getterelés olyan getterezésre utal, amely szennyeződés-befogó helyeket foglal magában, amelyeket a túltelített oxigén kicsapásával hoztak létre a szilícium-szeletből. A túltelített oxigén kicsapódása halmazokat hoz létre, amelyek folyamatosan növekednek, és ez feszültséget okoz az ostyában.
Mit kap a szilícium?
Gettering egy folyamat, amelynek során csökkentik a fémszennyeződéseket az eszköz területén oly módon, hogy azokat a szilícium lapka előre meghatározott, passzív tartományaiba lokalizálják.
Mi az extrinsic gettering?
Külső gettering olyan getterezésre utal, amely külső eszközöket használ a szilíciumháló sérülésének vagy feszültségének kifejlesztésére oly módon, hogy a szennyeződések befogásához szükséges kiterjedt hibák keletkeznek. Ezek a kémiailag érzékeny csapdázási helyek általában az ostya hátoldalán találhatók.
Mi a különbség az intrinsic és a külső gettering között?
Extrinsic Gettering: Arra a getterelésre vonatkozik, amely külső eszközöket használ a szilíciumrács sérülésének vagy feszültségének létrehozására oly módon, hogy a szennyeződések befogásához szükséges kiterjedt hibák képződnek. … Intrinsic Gettering: Arra a getteringre utal, amely oxigént használ, amely már jelen van a kristályban.
Mi az, hogy mennyire hasznos a CZ módszerben?
A Czochralski-módszer, egyben Czochralski-technika vagy Czochralski-eljárás is kristálynövesztési módszerfélvezetők (pl. szilícium, germánium és gallium-arzenid) egykristályait, fémeket (pl. palládium, platina, ezüst, arany), sókat és szintetikus drágaköveket.
