Egy kiegyensúlyozatlan Magnetron porlasztásnál a plazma is felhúzódik a hordozóba, és az argonionok is bombázzák a növekvő vékony filmréteget. … Az elektronok jelenléte a szubsztrát körül semleges gázatomok ionizációjához és a plazma ebbe a tartományba való behatolásához vezet.
Miért porlad a magnetron?
A mágnesporlasztás zárt mágneses mezőt használ az elektronok befogására, növelve a kezdeti ionizációs folyamat hatékonyságát és alacsonyabb nyomáson létrehozva a plazmát, csökkentve a háttérgáz beépülését a növekvő film- és energiaveszteség a porlasztott atomban gázütközések következtében.
Mi alkalmazható magnetronporlasztáshoz?
5 Magnetron porlasztásos lerakódás. A magnetronos porlasztás egy nagy sebességű vákuum bevonási technika, amely lehetővé teszi sokféle anyag felvitelét, beleértve fémeket és kerámiákat, tetszőleges számú hordozóanyagra speciálisan kialakított mágnes segítségével. mező egy dióda porlasztó célpontra van alkalmazva.
Mi az a zárt mezős kiegyensúlyozatlan magnetronporlasztás?
A Teer Coatings Ltd. által kifejlesztett zárt terű kiegyensúlyozatlan mágnesporlasztó ion bevonórendszer optimalizált leválasztási körülményeket biztosít, amelyek lehetővé teszik a kiváló tapadású, sűrű, kemény bevonatok felvitelét. A CFUBMSIP megállapodás a Teer Coatings Ltd.-nek biztosított szabadalmak hatálya alá tartozik.
Mi az a kiegyensúlyozatlan magnetron?
A mágneseket általában „kiegyensúlyozott” vagy „kiegyensúlyozatlan” kategóriába sorolják. … Ha a nullpont közel van a célfelülethez, az elektronok könnyebben kiszabadulhatnak és a magnetron kiegyensúlyozatlan. A kiegyensúlyozatlan kialakítások a vékonyréteg nagy ionos bombázását idézhetik elő a leválasztással egyidejűleg.
